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愛發科干式真空泵PKS-070

產品簡介:

愛發科干式真空泵PKS-070用于分析儀器以及半導體生產和等離子清洗等潔凈制程

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更新時間:2025-01-14

產品產地:日本

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愛發科干式真空泵PKS-070

愛發科干式真空泵PKS-070 

不良現象及原因分析

1、不良現象:真空泵運行過載報警。

2、原因分析:

經對真空泵進行拆解, 發現以下幾個問題點:

不良現象 原因分析

(1)轉子軸套部磨損:

因軸承磨損導致轉子下限,軸套部位與端蓋中間孔接觸磨擦所致。

(2)泵內齒輪箱內積碳:

因泵軸承損壞,轉子軸套與端蓋中間磨擦導致高溫,齒輪潤滑油因高溫氧化積碳。

(3)軸承磨損:

因軸承潤滑脂失效,軸承干性旋轉導致軸承滾珠在軸承內干磨。

(4)軸封磨損:

因軸承干磨磨出金屬粉屑以及高溫將軸封磨損。

(5)軸套磨損:

因高溫運行,軸封密封部硬化,與軸套接觸部位剛性磨擦將其軸套磨損。

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愛發科干式真空泵PKS-070 

 

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